自動化測試系統:該系統把探針臺,矢量網絡分析儀,電源,信號源等整合在一起,實現了對晶圓的自動化測試,根據map圖對芯片
依次進行測試。系統實現了探針臺自動扎針抬針以及自動尋找待測目標,控制電源自動上下電,控制矢量網絡分析
儀自動獲取測試數據以及保存測試數據等功能,系統根據芯片的指標對測試數據進行篩選,繪制出芯片性能是否合
格的map文件。
自動化分揀系統:該系統實現了對晶圓的自動化分揀,系統根據自動化測試系統導出的map文件,把性能合格的芯片進行自動分揀,
提高了分揀效率。
自動化目檢系統:該系統實現了對芯片的自動化目檢,系統通過圖像比對功能對芯片依次進行外觀檢查,篩出外觀不合格的芯片,最
終繪制出芯片外觀是否合格的map文件。